技術(shù)參數(shù)

規(guī)格型號(hào)		SR1000	SR2000
測(cè)量范圍	X軸	100~220mm
	Z軸	320~620mm
	Z1軸	±420μm/65536:1	±620μm/262144:1
粗糙度參數(shù)	Z1線性精度	≤±（7mm+3.5%）	≤±（5mm+2.8%）
	重復(fù)性	1δ≤2nm	1δ≤1nm
	截止波長(zhǎng)	0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
	評(píng)定長(zhǎng)度	λcX2、3、4、5、6、7
	殘值噪聲	≤0.012μm	≤0.005μm
驅(qū)動(dòng)速度	X軸	0.1~10mm/s	0.05~15mm/s
	Z軸	0.5~10mm/s	0.2~15mm/s
測(cè)量功能	粗糙度	粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr 波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr 原始輪廓參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr